Ultra clean processing of silicon surfaces 2000 : proceedings of the Fifth International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (UCPSS 2000), held in Ostend, Belgium, September 18-20, 2000
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書誌事項
- タイトル
- "Ultra clean processing of silicon surfaces 2000 : proceedings of the Fifth International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (UCPSS 2000), held in Ostend, Belgium, September 18-20, 2000"
- 責任表示
- editors, Marc Heyns, Paul Mertens and Marc Meuris
- 出版者
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- Scitec Publications
- 出版年月
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- c2001
- 書籍サイズ
- 25 cm
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注記
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796107521024
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- NII書誌ID
- BA7192768X
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- ISBN
- 3908450578
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- sz
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Uetikon-Zuerich
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- データソース種別
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- CiNii Books
