MEMS reliability for critical and space applications : 21-22 September 1999, Santa Clara, California
書誌事項
- タイトル
- "MEMS reliability for critical and space applications : 21-22 September 1999, Santa Clara, California"
- 責任表示
- Russell A. Lawton ... [et al.], chairs/editors ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering, cooperating organizations, SolidState Technology ... [et al.]
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1999
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- pbk.
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796110990848
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- NII書誌ID
- BA76480734
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- ISBN
- 0819434779
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- LCCN
- 00266575
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/00266575
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Washington
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- データソース種別
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- CiNii Books