Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranstaltet von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981

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Bibliographic Information

Title
"Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranstaltet von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981"
Statement of Responsibility
[verantwortlicher Bearbeiter, Peter Pertsch]
Publisher
  • Friedrich-Schiller-Universität Jena
Publication Year
  • 1982
Book size
21 cm

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000796126172544
  • NII Book ID
    BB03238087
  • Text Lang
    de
  • Country Code
    gw
  • Title Language Code
    de
  • Place of Publication
    • Jena
  • Classification
    • SG86: 37
  • Data Source
    • CiNii Books
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