Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranstaltet von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981
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書誌事項
- タイトル
- "Einführende Beiträge zur Mikrolithografie : Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranstaltet von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981"
- 責任表示
- [verantwortlicher Bearbeiter, Peter Pertsch]
- 出版者
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- Friedrich-Schiller-Universität Jena
- 出版年月
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- 1982
- 書籍サイズ
- 21 cm
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注記
Includes bibliographical references
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796126172544
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- NII書誌ID
- BB03238087
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- 本文言語コード
- de
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- 出版国コード
- gw
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- タイトル言語コード
- de
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- 出版地
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- Jena
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- 分類
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- SG86: 37
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- データソース種別
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- CiNii Books
