Optical/laser microlithography II, 1-3 March 1989, San Jose, California /Burn J. Lin, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
書誌事項
- タイトル
- "Optical/laser microlithography II, 1-3 March 1989, San Jose, California /Burn J. Lin, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering"
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1989
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographies and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796149329664
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- NII書誌ID
- BA12683006
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- ISBN
- 0819401234
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- LCCN
- 89060658
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/89060658
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- データソース種別
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- CiNii Books