高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製"
- 責任表示
- 研究代表者 堀池靖浩
- 出版者
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- [堀池靖浩]
- 出版年月
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- [1997.2]
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- コウソク・ コウ キンイツ デジタルCVD ヲ モチイタ ULSI ヨウ コウキノウセイ ウスマク ノ サクセイ
- 平成7年度科学研究費補助金(試験研究B) 研究成果報告書
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注記
課題番号:05555089
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796162491520
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- NII書誌ID
- BA71052788
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [出版地不明]
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- データソース種別
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- CiNii Books