書誌事項
- タイトル
- "Integrated circuit metrology II : May 3-4, 1984, Arlington, Virginia"
- 責任表示
- Diana Nyyssonen, chairman/editor ; cooperating organization, National Bureau of Standards
- 出版者
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- SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版年月
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- c1984
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- pbk.
- タイトル別名
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- Integrated circuit metrology 2
- Integrated circuit metrology two
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796171042560
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- NII書誌ID
- BA23986305
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- ISBN
- 0892525150
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- LCCN
- 84051334
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/84051334
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- 分類
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- LCC: TK7874
- DC19: 621.381/73
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books