新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御

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Bibliographic Information

Title
"新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御"
Statement of Responsibility
豊田浩孝[ほか著]
Publisher
  • [出版者不明]
Publication Year
  • 1997.3
Book size
30cm
Other Title
  • アタラシイ ラジカル ケイソクホウ ニ ヨル シランケイ プラズマ ノ シンダン ト セイギョ

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Notes

研究課題番号:07680505

研究分担者:菅井秀郎、中村圭二

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000796269672448
  • NII Book ID
    BA3543051X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [出版地不明]
  • Data Source
    • CiNii Books
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