新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御"
- 責任表示
- 豊田浩孝[ほか著]
- 出版者
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- [出版者不明]
- 出版年月
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- 1997.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- アタラシイ ラジカル ケイソクホウ ニ ヨル シランケイ プラズマ ノ シンダン ト セイギョ
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注記
研究課題番号:07680505
研究分担者:菅井秀郎、中村圭二
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796269672448
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- NII書誌ID
- BA3543051X
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [出版地不明]
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- データソース種別
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- CiNii Books
