Micromachining and microfabrication process technology IV : 21-22 September, 1998, Santa Clara, California
書誌事項
- タイトル
- "Micromachining and microfabrication process technology IV : 21-22 September, 1998, Santa Clara, California"
- 責任表示
- James H. Smith, chair/editor ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organizations, SEMI--Semiconductor Equipment and Materials International ... [et al.]
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1998
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographical references and author index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796337569024
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- NII書誌ID
- BA61054561
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- ISBN
- 0819429708
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- LCCN
- 99200342
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/99200342
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- 分類
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- LCC: TJ1191.5
- DC21: 621.3815/2
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- データソース種別
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- CiNii Books