Gettering and deffect engineering in semiconductor technology XIII: GADEST 2009 : proceedings of the XIIIth International Autumn Meeting, Döllnsee-Schorfheide, north of Berlin, Germany, September 26 - October 02, 2009
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書誌事項
- タイトル
- "Gettering and deffect engineering in semiconductor technology XIII: GADEST 2009 : proceedings of the XIIIth International Autumn Meeting, Döllnsee-Schorfheide, north of Berlin, Germany, September 26 - October 02, 2009"
- 責任表示
- edited by M. Kittler and H. Richter
- 出版者
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- Trans Tech Pub.
- 出版年月
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- c2010
- 書籍サイズ
- 25 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796372461952
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- NII書誌ID
- BB08789066
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- ISBN
- 9783908451747
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- sz
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Stafa-Zurich, Switzerland
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- データソース種別
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- CiNii Books
