Gate dielectric integrity : material, process, and tool qualification
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書誌事項
- タイトル
- "Gate dielectric integrity : material, process, and tool qualification"
- 責任表示
- Dinesh C. Gupta and George A. Brown, editors
- 出版者
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- ASTM
- 出版年月
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- c2000
- 書籍サイズ
- 23 cm
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注記
Includes bibliographical references
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796400078848
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- NII書誌ID
- BA45719619
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- ISBN
- 0803126158
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- West Conshohocken, PA
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- データソース種別
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- CiNii Books
