Characterization and metrology for ULSI technology : 2003 international conference on characterization and metrology for ULSI technology, Austin, Texas 24-28 March 2003
書誌事項
- タイトル
- "Characterization and metrology for ULSI technology : 2003 international conference on characterization and metrology for ULSI technology, Austin, Texas 24-28 March 2003"
- 責任表示
- editors David G. Seiler ... [et al.]
- 出版者
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- American Institute of Physics
- 出版年月
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- c2003
- 書籍サイズ
- 28 cm.
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796435737600
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- NII書誌ID
- BA65067689
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- ISBN
- 0735401527
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- LCCN
- 2003111108
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/2003111108
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Melville, New York
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- データソース種別
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- CiNii Books