Ultra clean processing of silicon surfaces : proceedings of the Fourth International Symposium on ultra clean processing of silicon surfaces held in Ostend, Belgium, September 21-23, 1998
CiNii
所蔵館 4館
書誌事項
- タイトル
- "Ultra clean processing of silicon surfaces : proceedings of the Fourth International Symposium on ultra clean processing of silicon surfaces held in Ostend, Belgium, September 21-23, 1998"
- 責任表示
- editors, Marc Heyns, Marc Meuris and Paul Mertens
- 出版者
-
- Scitec Publications Ltd
- 出版年月
-
- c1999
- 書籍サイズ
- 25 cm
この図書・雑誌をさがす
注記
Volumes 65-66 of Solid State Phenomena, ISSN1012-0394
Includes index
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000796484709888
-
- NII書誌ID
- BA46355405
-
- ISBN
- 3908450403
-
- 本文言語コード
- en
-
- 出版国コード
- sz
-
- タイトル言語コード
- en
-
- 出版地
-
- Uetikon-Zuerich
-
- データソース種別
-
- CiNii Books
