書誌事項
- タイトル
- "Optical/laser microlithography : 2-4 March 1988, Santa Clara, California"
- 責任表示
- Burn J. Lin, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1988
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographies and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796647554688
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- NII書誌ID
- BA07692256
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- ISBN
- 0892529571
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- LCCN
- 88060781
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/88060781
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- データソース種別
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- CiNii Books