ナノポーラス/有機構造低誘電率膜と金属電極の界面制御

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Bibliographic Information

Title
"ナノポーラス/有機構造低誘電率膜と金属電極の界面制御"
Statement of Responsibility
研究代表者 吉川公麿
Publisher
  • 広島大学ナノデバイス・システム研究センター
Publication Year
  • 2002.10
Book size
30cm
Other Title
  • ナノ ポーラス ユウキ コウゾウ テイユウデンリツマク ト キンゾク デンキョク ノ カイメン セイギョ

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Notes

課題番号: 11450126

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000796686819712
  • NII Book ID
    BA64043299
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • 東広島
  • Data Source
    • CiNii Books
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