ナノポーラス/有機構造低誘電率膜と金属電極の界面制御
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "ナノポーラス/有機構造低誘電率膜と金属電極の界面制御"
- 責任表示
- 研究代表者 吉川公麿
- 出版者
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- 広島大学ナノデバイス・システム研究センター
- 出版年月
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- 2002.10
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ナノ ポーラス ユウキ コウゾウ テイユウデンリツマク ト キンゾク デンキョク ノ カイメン セイギョ
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注記
課題番号: 11450126
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796686819712
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- NII書誌ID
- BA64043299
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東広島
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- データソース種別
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- CiNii Books