Micromachining and microfabrication process technology II : 14-15 October, 1996, Austin, Texas

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タイトル
"Micromachining and microfabrication process technology II : 14-15 October, 1996, Austin, Texas"
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Stella W. Pang, Shih-Chia Chang, chairs/editors ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering, SEMI--Semiconductor Equipment and Materials International, NIST--National Institute of Standards and Technology ; cooperating organizations, Solid State Technology, Sandia National Laboratories
出版者
  • SPIE--The International Society of Optical Engineering
出版年月
  • c1996
書籍サイズ
28 cm

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