Micromachining and microfabrication process technology II : 14-15 October, 1996, Austin, Texas
書誌事項
- タイトル
- "Micromachining and microfabrication process technology II : 14-15 October, 1996, Austin, Texas"
- 責任表示
- Stella W. Pang, Shih-Chia Chang, chairs/editors ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering, SEMI--Semiconductor Equipment and Materials International, NIST--National Institute of Standards and Technology ; cooperating organizations, Solid State Technology, Sandia National Laboratories
- 出版者
-
- SPIE--The International Society of Optical Engineering
- 出版年月
-
- c1996
- 書籍サイズ
- 28 cm
この図書・雑誌をさがす
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000796714219904
-
- NII書誌ID
- BA61047748
-
- ISBN
- 0819422770
-
- LCCN
- 96069473
-
- Web Site
- https://lccn.loc.gov/96069473
-
- 本文言語コード
- en
-
- 出版国コード
- us
-
- タイトル言語コード
- en
-
- 出版地
-
- Bellingham, Wash.
-
- 分類
-
- LCC: TJ1191.5
- DC21: 621.3815/2
-
- データソース種別
-
- CiNii Books