Advanced short-time thermal processing for Si-based CMOS devices : proceedings of the international symposium
書誌事項
- タイトル
- "Advanced short-time thermal processing for Si-based CMOS devices : proceedings of the international symposium"
- 責任表示
- editors, F. Roozeboom ... [et al.]
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c2003-2004
- 書籍サイズ
- 24 cm
- シリーズ名/番号
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- [I]
- II
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注記
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796774101248
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- NII書誌ID
- BA69491300
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- ISBN
- 1566773962
- 1566774063
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- LCCN
- 2003110354
- 2004102296
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, NJ
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- データソース種別
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- CiNii Books
