Proceedings of the Symposia on Electrochemical Processing in ULSI Fabrication I and Interconnect and Contact Metallization: materials, processes, and reliability
書誌事項
- タイトル
- "Proceedings of the Symposia on Electrochemical Processing in ULSI Fabrication I and Interconnect and Contact Metallization: materials, processes, and reliability"
- 責任表示
- editors, P. C. Andricacos ...[et al.]
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c1999
- 書籍サイズ
- 23 cm
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注記
"Dielectric Science and Technology, Electronics, and Electrodeposition Divisions"
Includes bibliographies and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796775755008
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- NII書誌ID
- BA43299374
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- ISBN
- 1566772001
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- LCCN
- 99062262
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/99062262
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, N.J.
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- データソース種別
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- CiNii Books
