化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける微粒子ダイナミクスの解明
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける微粒子ダイナミクスの解明"
- 責任表示
- 研究代表者 宝沢光紀
- 出版者
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- [宝沢光紀]
- 出版年月
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- 2002.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- カガクテキ キカイ ケンマ (CMP) プロセス ニオケル ビリュウシ ダイナミクス ノ カイメイ
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注記
課題番号: 11450288
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796816296192
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- NII書誌ID
- BB06325869
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books