Electronics and structures for MEMS : 27-29 October, 1999, Royal Pines Resort, Queensland, Australia
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書誌事項
- タイトル
- "Electronics and structures for MEMS : 27-29 October, 1999, Royal Pines Resort, Queensland, Australia"
- 責任表示
- Neil W. Bergmann, Olaf Reinhold, Norman C. Tien, chairs/editors ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering, IREE Society(Australia), Queensland Government State Development(Australia)
- 出版者
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- SPIE--the International Society of Optical Engineering
- 出版年月
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- c1999
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796873368064
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- NII書誌ID
- BA45648281
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- ISBN
- 0819434922
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- データソース種別
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- CiNii Books