Low-k nanoporous interdielectrics : materials, thin film fabrications, structures and properties
書誌事項
- タイトル
- "Low-k nanoporous interdielectrics : materials, thin film fabrications, structures and properties"
- 責任表示
- Moonhor Ree, Jinhwan Yoon and Kyuyoung Heo
- 出版者
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- Nova Science Publishers
- 出版年月
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- c2010
- 書籍サイズ
- 23 cm
- タイトル別名
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- Low-k nanoporous interdielectrics : materials, thin film fabrications...
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注記
Includes bibliographical references (p. [51]-61) and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796890099584
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- NII書誌ID
- BB16806750
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- ISBN
- 9781616687496
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- LCCN
- 2010016713
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/2010016713
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- New York
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- 分類
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- LCC: TK7871.15.F5
- DC22: 621.381
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- 件名
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- LCSH: Dielectric films
- LCSH: Microelectronics -- Materials
- LCSH: Porous materials
- LCSH: Interconnects (Integrated circuit technology)
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- データソース種別
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- CiNii Books