Low-k nanoporous interdielectrics : materials, thin film fabrications, structures and properties

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書誌事項

タイトル
"Low-k nanoporous interdielectrics : materials, thin film fabrications, structures and properties"
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Moonhor Ree, Jinhwan Yoon and Kyuyoung Heo
出版者
  • Nova Science Publishers
出版年月
  • c2010
書籍サイズ
23 cm
タイトル別名
  • Low-k nanoporous interdielectrics : materials, thin film fabrications...

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注記

Includes bibliographical references (p. [51]-61) and index

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