書誌事項
- タイトル
- "MEMS & microsystems : design and manufacture"
- 責任表示
- Tai-Ran Hsu
- 出版者
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- McGraw-Hill
- International ed
- 出版年月
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- 2002
- 書籍サイズ
- 24 cm
- タイトル別名
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- MEMS and microsystems : design and manufacture
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注記
Includes bibliographical references (p. 427-431) and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796932382464
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- NII書誌ID
- BA63404777
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- ISBN
- 0071204768
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- LCCN
- 2001044737
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/2001044737
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- New York
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- 分類
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- LCC: TK7874.H794
- DC21: 621.381
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- 件名
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- LCSH: Microelectronics
- LCSH: Microelectromechanical systems
- LCSH: Microelectronic packaging
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- データソース種別
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- CiNii Books