Chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies
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書誌事項
- タイトル
- "Chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies"
- 責任表示
- edited by Yves Pauleau
- 出版者
-
- Kluwer Academic
- 出版年月
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- c2002
- 書籍サイズ
- 25 cm
- シリーズ名/番号
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- : pb
- タイトル別名
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- Proceedings of the NATO advanced study institute on chemical physics of thin film deposition processes for micro-and nano-technologies, Kaunas, Lithuania, 3-14 September, 2001
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注記
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796966642048
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- NII書誌ID
- BA57112551
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- ISBN
- 1402005245
- 1402005253
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- ne
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
-
- Dordrecht
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- データソース種別
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- CiNii Books