14th annual Symposium on Photomask Technology and Management : proceedings : 14-16 September 1994, Santa Clara, California
書誌事項
- タイトル
- "14th annual Symposium on Photomask Technology and Management : proceedings : 14-16 September 1994, Santa Clara, California"
- 責任表示
- William L. Brodsky, Gilbert V. Sheldon, chairs/editors ; sponsored by BACUS--the International Technical Group of SPIE dedicated to the advancement of photomask technology
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1994
- 書籍サイズ
- 28 cm
- タイトル別名
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- Fourteenth Annual Symposium on Photomask Technology and Management
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797002546432
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- NII書誌ID
- BA29175553
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- ISBN
- 0819416533
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- LCCN
- 94067248
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/94067248
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- 分類
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- LCC: TK7872.M3
- DC20: 621.3815/31
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- データソース種別
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- CiNii Books