矩形波反応ガス流を用いた反応性スパッターによる薄膜作製
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "矩形波反応ガス流を用いた反応性スパッターによる薄膜作製"
- 責任表示
- 研究代表者 本多卓也
- 出版者
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- [本多卓也]
- 出版年月
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- 1999.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- クケイハ ハンノウ ガスリュウ オ モチイタ ハンノウセイ スパッター ニヨル ハクマク サクセイ
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797089463296
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- NII書誌ID
- BA54065681
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [辰口町(石川県)]
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- データソース種別
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- CiNii Books
