半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として

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書誌事項

タイトル
"半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として"
責任表示
宇佐美晶, 徳田豊 [著]
出版者
  • リアライズ・アドバンストテクノロジ
出版年月
  • c2006
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • ハンドウタイ デバイス コウテイ ヒョウカ ギジュツ : ライフタイム DLTS ヒョウカ オ チュウシン トシテ
  • 半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイムDLTS評価を中心として

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注記

1990年2月刊の複製

背と裏表紙に「Realize, Science & Engineering」とあり. (2007年10月、リアライズ・アドバンストテクノロジからRealize, Science & Engineeringに出版事業譲渡されている)

参考文献あり

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000797129912320
  • NII書誌ID
    BA87878710
  • ISBN
    9784898080528
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • 東京
  • 分類
  • 件名
  • データソース種別
    • CiNii Books
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