半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として

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Bibliographic Information

Title
"半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として"
Statement of Responsibility
宇佐美晶, 徳田豊 [著]
Publisher
  • リアライズ・アドバンストテクノロジ
Publication Year
  • c2006
Book size
30cm
Other Title
  • ハンドウタイ デバイス コウテイ ヒョウカ ギジュツ : ライフタイム DLTS ヒョウカ オ チュウシン トシテ
  • 半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイムDLTS評価を中心として

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Notes

1990年2月刊の複製

背と裏表紙に「Realize, Science & Engineering」とあり. (2007年10月、リアライズ・アドバンストテクノロジからRealize, Science & Engineeringに出版事業譲渡されている)

参考文献あり

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797129912320
  • NII Book ID
    BA87878710
  • ISBN
    9784898080528
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • 東京
  • Classification
  • Subject
  • Data Source
    • CiNii Books
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