半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として
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書誌事項
- タイトル
- "半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として"
- 責任表示
- 宇佐美晶, 徳田豊 [著]
- 出版者
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- リアライズ・アドバンストテクノロジ
- 出版年月
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- c2006
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ハンドウタイ デバイス コウテイ ヒョウカ ギジュツ : ライフタイム DLTS ヒョウカ オ チュウシン トシテ
- 半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイムDLTS評価を中心として
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注記
1990年2月刊の複製
背と裏表紙に「Realize, Science & Engineering」とあり. (2007年10月、リアライズ・アドバンストテクノロジからRealize, Science & Engineeringに出版事業譲渡されている)
参考文献あり
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797129912320
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- NII書誌ID
- BA87878710
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- ISBN
- 9784898080528
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- 件名
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- BSH: 半導体
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- データソース種別
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- CiNii Books