Cleaning technology semiconductor device manufacturing : proceedings of the seventh international symposium
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書誌事項
- タイトル
- "Cleaning technology semiconductor device manufacturing : proceedings of the seventh international symposium"
- 責任表示
- editors, J. Ruzyllo ... [et al.]
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c2002
- 書籍サイズ
- 24 cm
- タイトル別名
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- Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VII
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注記
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797151089152
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- NII書誌ID
- BA59009371
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- ISBN
- 1566773598
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, N.J.
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- データソース種別
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- CiNii Books
