Soft-x-ray projection lithography : summaries of papers presented at the Soft-X-ray Projection Lithography Topical Meeting, April 6-8, 1992, Monterey, California
書誌事項
- タイトル
- "Soft-x-ray projection lithography : summaries of papers presented at the Soft-X-ray Projection Lithography Topical Meeting, April 6-8, 1992, Monterey, California"
- 責任表示
- sponsored by Air Force Office of Scientific Research, Defense Advanced Research Projects Agency, National Science Foundation for the Optical Society of America
- 出版者
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- Optical Society of America
- Postconference ed
- 出版年月
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- c1992
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797208751616
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- NII書誌ID
- BA22408063
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- ISBN
- 1557522308
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- LCCN
- 92080614
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/92080614
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Washington, DC
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- 分類
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- LCC: TK7874
- DC20: 621.3815/31
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books