マイクロアイスジェットの生成と3次元半導体素子用層間絶縁膜の選択的加工法への適用
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "マイクロアイスジェットの生成と3次元半導体素子用層間絶縁膜の選択的加工法への適用"
- 責任表示
- 厨川常元研究代表者
- 出版者
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- [厨川常元]
- 出版年月
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- 2001.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- マイクロアイスジェット ノ セイセイ ト 3ジゲン ハンドウタイ ソシ ヨウソウカン ゼツエンマク ノ センタクテキ カコウホウ ヘノ テキヨウ
- 平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号11450051)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797395978752
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- NII書誌ID
- BB06063412
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books