Challenges in process integration and device technology : 18-19 September 2000, Santa Clara, USA

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書誌事項

タイトル
"Challenges in process integration and device technology : 18-19 September 2000, Santa Clara, USA"
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David Burnett, Shinʾichiro Kimura, Bhanwar Singh, chairs/editors ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organizations, SolidState Technology, the Electrochemical Society, [and] AVS--American Vacuum Society (USA)
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c2000
書籍サイズ
28 cm

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注記

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