触媒CVD(Cat‐CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術

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書誌事項

タイトル
"触媒CVD(Cat‐CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術"
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中山弘監修
出版者
  • シーエムシー出版
  • 普及版
出版年月
  • 2013.11
書籍サイズ
26cm
タイトル別名
  • ショクバイ CVD Cat‐CVD ノ シンテンカイ : ラジカル オ モチイル シン プロセス ギジュツ
  • Recent developments of catalytic CVD (hot‐wire CVD) : a new radical‐based processing technology

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注記

文献: 章末

2008年の普及版

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000797602897792
  • NII書誌ID
    BB13944703
  • ISBN
    9784781307404
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • 東京
  • 分類
  • 件名
  • データソース種別
    • CiNii Books
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