触媒CVD(Cat‐CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "触媒CVD(Cat‐CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術"
- 責任表示
- 中山弘監修
- 出版者
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- シーエムシー出版
- 普及版
- 出版年月
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- 2013.11
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- ショクバイ CVD Cat‐CVD ノ シンテンカイ : ラジカル オ モチイル シン プロセス ギジュツ
- Recent developments of catalytic CVD (hot‐wire CVD) : a new radical‐based processing technology
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注記
文献: 章末
2008年の普及版
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797602897792
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- NII書誌ID
- BB13944703
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- ISBN
- 9784781307404
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- データソース種別
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- CiNii Books
