新制御方式による半導体露光装置の高速ナノメータ同期位置制御
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "新制御方式による半導体露光装置の高速ナノメータ同期位置制御"
- 責任表示
- 研究代表者 辻輝生
- 出版者
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- [九州工業大学]
- 出版年月
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- 2005.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- シン セイギョ ホウシキ ニヨル ハンドウタイ ロコウ ソウチ ノ コウソク ナノメータ ドウキ イチ セイギョ
- 平成14年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
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注記
課題番号: 14350122
研究分担者: 二見茂, 浜松弘, 牧野内進, 中村祐司
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797621083520
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- NII書誌ID
- BA79313943
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [北九州]
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- データソース種別
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- CiNii Books