Micron and submicron integrated circuit metrology : August 22-23, 1985, San Diego, California
書誌事項
- タイトル
- "Micron and submicron integrated circuit metrology : August 22-23, 1985, San Diego, California"
- 責任表示
- Kevin M. Monahan, chairman/editor ; cooperating organizations, Optical Sciences Center/University of Arizona, Institute of Optics/University of Rochester
- 出版者
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- SPIE--International Society for Optical Engineering
- 出版年月
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- 1985
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- pbk.
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注記
Includes bibliographies
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797876059776
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- NII書誌ID
- BA24008190
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- ISBN
- 0892526009
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- LCCN
- 85062883
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/85062883
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- 分類
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- LCC: TK7874
- DC19: 621.381/73
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- データソース種別
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- CiNii Books