Proceedings of the First International Symposium on Advanced Materials for ULSI

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書誌事項

タイトル
"Proceedings of the First International Symposium on Advanced Materials for ULSI"
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edited by Martin Scott, Yoichi Akasaka, Rafael Reif
出版者
  • Electrochemical Society
出版年月
  • c1988
書籍サイズ
23 cm
タイトル別名
  • First International Symposium on Advanced Materials for ULSI
  • Advanced materials for ULSI

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注記

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"... at the 173rd meeting of the Electrochemical Society in Atlanta" -- on pref

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