Proceedings of the Symposium on Contamination Control and Defect Reduction in Semiconductor Manufacturing I

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書誌事項

タイトル
"Proceedings of the Symposium on Contamination Control and Defect Reduction in Semiconductor Manufacturing I"
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edited by Dennis N. Schmidt, assistant editors, David Reedy, Alex Schwarz ; Electronics and Dielectric Science and Technology Divisions
出版者
  • Electrochemical Society
出版年月
  • c1992
書籍サイズ
23 cm

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Includes bibliographical references and index

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000798131363840
  • NII書誌ID
    BA19556991
  • ISBN
    156677022X
  • LCCN
    92073946
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/92073946
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pennington, N.J.
  • データソース種別
    • CiNii Books
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