Si front-end processing -- physics and technology of dopant-defect interactions III : symposium held April 17-19, 2001, San Francisco, California, U.S.A.
CiNii
所蔵館 5館
書誌事項
- タイトル
- "Si front-end processing -- physics and technology of dopant-defect interactions III : symposium held April 17-19, 2001, San Francisco, California, U.S.A."
- 責任表示
- editors, Erin C. Jones ... [et al.]
- 出版者
-
- Materials Research Society
- 出版年月
-
- c2001
- 書籍サイズ
- 24 cm
この図書・雑誌をさがす
注記
Includes bibliographical references and indexes
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000798232329216
-
- NII書誌ID
- BA56818510
-
- ISBN
- 1558996052
-
- 本文言語コード
- en
-
- 出版国コード
- us
-
- タイトル言語コード
- en
-
- 出版地
-
- Warrendale, PA
-
- データソース種別
-
- CiNii Books