Si原子層エッチング表面における自己制限型表面吸着・反応素過程に関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "Si原子層エッチング表面における自己制限型表面吸着・反応素過程に関する研究"
- 責任表示
- 松浦孝研究代表者
- 出版者
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- [松浦孝]
- 出版年月
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- 1996.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- SI ゲンシソウ エッチング ヒョウメン ニ オケル ジコ セイゲンガタ ヒョウメン キュウチャク ハンノウソ カテイ ニ カンスル ケンキュウ
- 平成7年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書 : (課題番号06452211)
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注記
課題番号: 06452211
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000798252542976
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- NII書誌ID
- BB10922169
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books