Optical and dimensional-measurement problems with photomasking in microelectronics
書誌事項
- タイトル
- "Optical and dimensional-measurement problems with photomasking in microelectronics"
- 責任表示
- John M. Jerke
- 出版者
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- U.S. G.P.O.
- 出版年月
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- 1975
- 書籍サイズ
- 26 cm
- 巻次・年月次
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- 400-20
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注記
Bibliography: p. 31-36
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000798273299328
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- NII書誌ID
- BA73257191
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- LCCN
- 75619190
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Washington
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- 分類
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- LCC: QC100
- LCC: TK7874
- DC: 389/.08 s
- DC: 621.381/73
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- 件名
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- LCSH: Integrated circuits -- Masks
- LCSH: Photolithography
- LCSH: Optical measurements
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- データソース種別
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- CiNii Books