書誌事項
- タイトル
- "Micromachined devices and components : 23-24 October, 1995, Austin, Texas"
- 責任表示
- Ray Roop, Kevin Chau, chairs/editors ; sponsored by SEMI--Semiconductor Equipment and Materials International, NIST--National Institute of Standards and Technology, SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1995
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographic references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130006265935322531
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- NII書誌ID
- BC06604972
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- ISBN
- 0819420085
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- LCCN
- 95070377
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/95070377
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- 分類
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- LCC: TJ163
- DC21: 621.3815/2
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- データソース種別
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- CiNii Books