MEMS reliability for critical applications : 20 September 2000, Santa Clara, USA
書誌事項
- タイトル
- "MEMS reliability for critical applications : 20 September 2000, Santa Clara, USA"
- 責任表示
- Russell A. Lawton, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organizations, SEMI--Semiconductor Equipment and Materials International, SolidState Technology, [and] Sandia National Laboratories (USA)
- 出版者
-
- SPIE
- 出版年月
-
- c2000
- 書籍サイズ
- 28 cm
- タイトル別名
-
- Microelectromechanical systems reliability for critical applications
この図書・雑誌をさがす
注記
Includes bibliographical references and index
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130006728475012626
-
- NII書誌ID
- BC07472899
-
- ISBN
- 0819438367
-
- LCCN
- 2001274449
-
- Web Site
- https://lccn.loc.gov/2001274449
-
- 本文言語コード
- en
-
- 出版国コード
- us
-
- タイトル言語コード
- en
-
- 出版地
-
- Bellingham, Wash., USA
-
- 分類
-
- LCC: TK7875
- DC21: 621.31/042
-
- データソース種別
-
- CiNii Books