Advanced gate stack, source/drain, and channel engineering for si-based CMOS 6 : new materials, processes, and equipment

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書誌事項

タイトル
"Advanced gate stack, source/drain, and channel engineering for si-based CMOS 6 : new materials, processes, and equipment"
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editors, E.P. Gusev ... [et al.]
出版者
  • Electrochemical Society
出版年月
  • c2010
書籍サイズ
23 cm
シリーズ名/番号
  • : hardcover

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130009670188468623
  • NII書誌ID
    BC12706988
  • ISBN
    9781566777919
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pennington, N.J.
  • データソース種別
    • CiNii Books
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