Optical microlithography II : technology for the 1980s : March 16-17, 1983, Santa Clara, California

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書誌事項

タイトル
"Optical microlithography II : technology for the 1980s : March 16-17, 1983, Santa Clara, California"
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Harry L. Stover, chairman/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering, in cooperation with National Bureau of Standards, International Society for Hybrid Microelectronics, Northern California Microphotomask/Masking Working Group
出版者
  • SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版年月
  • c1983
書籍サイズ
28 cm
シリーズ名/番号
  • pbk.
タイトル別名
  • Optical microlithography 2
  • Optical microlithography two

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