Advances in resist technology and processing XII : 20-22 February 1995, Santa Clara, California
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書誌事項
- タイトル
- "Advances in resist technology and processing XII : 20-22 February 1995, Santa Clara, California"
- 責任表示
- chair/editor Robert D. Allen ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineer
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1995
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
-
- SET
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282268815302016
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- NII書誌ID
- BA29309547
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- ISBN
- 0819417866
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- データソース種別
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- CiNii Books