Advances in resist technology and processing XII : 20-22 February 1995, Santa Clara, California

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書誌事項

タイトル
"Advances in resist technology and processing XII : 20-22 February 1995, Santa Clara, California"
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chair/editor Robert D. Allen ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineer
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c1995
書籍サイズ
28 cm
シリーズ名/番号
  • SET

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注記

Includes bibliographical references and index

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282268815302016
  • NII書誌ID
    BA29309547
  • ISBN
    0819417866
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Bellingham, Wash., USA
  • データソース種別
    • CiNii Books
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