Proceedings of the Third Symposium on Automated Integrated Circuits Manufacturing

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書誌事項

タイトル
"Proceedings of the Third Symposium on Automated Integrated Circuits Manufacturing"
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edited by Joseph B. Anthony ; assistant editors, Mihir Parikh, Vaughn Akins, Robert Miller
出版者
  • Electrochemical Society
出版年月
  • c1988
書籍サイズ
23 cm
タイトル別名
  • Automated integrated circuits manufacturing

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注記

Includes bibliographical references and indexes

Co-sponsored by: the Electronics and Dielectrics and Insulation Divisions

"... held October 18-23, 1987 in Honolulu, Hawaii" -- on pref

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