Design, test, integration, and packaging of MEMS/MOEMS 2002 : 6-8 May, 2002, Cannes, France

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タイトル
"Design, test, integration, and packaging of MEMS/MOEMS 2002 : 6-8 May, 2002, Cannes, France"
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Bernard Courtois ... [et al.] chairs/editors ; sponsored by CNRS-INPG-UJF (France) ... [et al.]
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c2002
書籍サイズ
28 cm

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注記

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